发明名称 3D Mikrovorrichtungsstrukturen
摘要
申请公布号 DE60236632(D1) 申请公布日期 2010.07.22
申请号 DE20026036632 申请日期 2002.02.01
申请人 XEROX CORP. 发明人 FORK, DAVID K.;CHUA, CHRISTOPHER L.;VAN SCHUYLENBERGH, KOENRAAD F.;JOHNSON, NOBLE M.;BIEGELSEN, DAVID K.
分类号 G03F7/20;H01F41/04;B81B1/00;B81B3/00;B81C1/00;H01F17/00;H01L21/02;H01L21/48;H01L27/08;H05K3/40 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
地址