真空溅镀设备的感测装置

摘要

一种真空溅镀设备的感测装置，包含一固定在一腔体之一顶壁上的固定座、一设置在该固定座上且位在该腔体外的发射器、一连接该固定座且位在该腔体中的延长管座、一固定在该腔体之一侧壁上的固位座、一设置在该固位座上且位在该腔体外的接收器、一连接该固位座且位在该腔体中的延长筒座，及一倾斜设在该延长管座之一底部且其一反射面朝向该接收器的反射片。该固定座与该延长管座相配合界定出一L型的发射通道，该固位座与该延长筒座相配合界定出一间隔对应该发射通道之横向段的横向式接收通道。藉以，整体能产生有效降低维护成本的功效。

主权项

1.一种真空溅镀设备的感测装置，是设置在该真空溅镀设备的一腔体上，并包含：一发射单元，是直向设置在该腔体的一顶壁上，并包括一贯穿固定在该腔体之顶壁上的固定座、一设置在该固定座上且位在该腔体外的发射器、一其顶部连接该固定座且位在该腔体中的延长管座，以及一倾斜地设置在该延长管座之一底部处且其反射面是朝向该接收单元的反射片，该固定座与该延长管座相配合界定出一发射通道，该发射通道具有一自该发射器延伸至该反射片之反射面的直向段，以及一自该反射片之反射面向外水平延伸的横向段，该发射器能发出一光线，该光线能沿该直向段行进且经该反射片反射而转向进入该横向段中；以及一接收单元，是横向设置在该腔体的一侧壁上，并包括一贯穿固定在该腔体之侧壁上的固位座、一设置在该固位座上且位在该腔体外的接收器，以及一其侧部连接该固位座且位在该腔体中的延长筒座，该固位座与该延长筒座相配合界定出一间隔对应该发射通道之横向段的横向式接收通道，自该横向段射出之光线能穿入该接收通道中以直达该接收器。 ;2.根据申请专利范围第1项所述真空溅镀设备的感测装置，其中，该发射单元还包括一设置在该固定座与该延长管座之间的穿透板，该接收单元还具有一设置在该固位座与该延长筒座之间的穿透片。 ;3.根据申请专利范围第2项所述真空溅镀设备的感测装置，其中，该发射单元之固定座具有一贯穿该腔体之顶壁的固定座部、一设置在该固定座部之一顶端与该发射器之间的转接座部，以及一设置在该固定座部与该转接座部之间的垫圈部，该接收单元之固位座具有一贯穿该腔体之侧壁的固位块部、一设置在该固位块部之一侧与该接收器之间的转接块部，以及一设置在该固位块部与该转接块部之间的垫环部。 ;4.根据申请专利范围第1至3项中任一项所述真空溅镀设备的感测装置，其中，该发射单元之延长管座具有一其顶部套接该固定座之一底部的第一延长管、一其顶部套接该第一延长管之一底端的第二延长管、一自该第二延长管之一顶部横向延伸的第一连接条，以及一自该第一连接条之远离该第二延长管之一侧向下延伸的第二连接条，该反射片是设置在该第二延长管之一底部，该固定座、该第一延长管与该第二延长管是相配合界定出该发射通道。 ;5.根据申请专利范围第4项所述真空溅镀设备的感测装置，其中，该接收单元之延长筒座具有一其侧部套接该固位座的延长筒，以及一套接该延长筒之相反另一侧部且其顶面连接该第二连接条之一底面的延长块，该接收通道是横向贯穿该延长块、该延长筒与该固位座。;图1是一俯视示意图，说明现有一真空溅镀设备的局部结构；以及图2是一剖视示意图，说明本新型真空溅镀设备的感测装置的一较佳实施例。