曝光装置

摘要

【课题】;目的在于提供一种曝光装置，防止感光性树脂层所挥发的挥发物质附着于凹面镜，防止凹面镜的反射率降低。;【解决手段】;在框体5内具有光源10、平面镜21、23、复眼透镜22、凹面镜24、光罩框架31以及载置台30的曝光装置1，包括沿着设于框体5内的凹面镜24的凹面送风的送风口40、设于该送风路径的空气净化过滤器42以及将沿着设置于载置台30的地面上的凹面镜24的凹面送风的空气排出框体5外的排气孔60。;又，曝光装置1更具有导风板50，在经由凹面镜24与送风口40相向的框体5的壁面上，将沿凹面镜24的凹面送风的空气导入排气孔60。

主权项

1.一种曝光装置，在曝光室中设有：一光源，照射包含既定波长的光；一平面镜及凹面镜，将该光源的光线沿既定之光路反射；一复眼透镜，设置于上述光路中；一凹面镜，将来自上述光源的光沿着预设的光路反射；一光罩框架，支持设于上述凹面镜下方的光罩；一载置台，载置一基板，而面向该光罩框架的光罩；其特征为包括：一送风口，设于上述曝光室内的上述凹面镜的附近，并沿着上述凹面镜的凹面送风；一空气净化过滤器，设于从上述送风口至上述凹面镜的上述送风的通路上；一排气孔，设于设置上述载置台的地面上，沿着上述凹面镜的凹面将送风的空气排出；以及一导风板，在与上述送风口相向的上述曝光室内的壁面上形成曲面状，使得沿着上述凹面镜的凹面至上述排气孔的通路上进行送风的空气被导入上述排气孔。 ;2.如申请专利范围第1项所述之曝光装置，其中上述送风口系连接于配置于上述曝光室外部的空调装置。;第1图为本发明之曝光装置的立体透视图。;第2图为表示本发明之空气流动的剖视图。;第3(a)图为导风板设于曝光室壁面的实施型态的立体图。;第3(b)图为第3a图的剖视图。