发明名称 异质材料键合方法
摘要 本发明是有关于一种异质材料键合方法,其包含下列步骤:首先喷砂加工一基材,接着使用一第一金属导线与一第二金属导线分别电性连接一电源,以提供不同电性至第一金属导线与第二金属导线,接着依据第一金属导线及第二金属导线的不同电性产生电弧。接着使用电弧加热第一金属导线与第二金属导线,以熔融第一金属导线及第二金属导线成为一熔融材,接着使用压缩空气喷射熔融材而吹散为多个粒子,以吹送粒子至基材上,并形成一喷涂层于基材上。其中,熔融材藉由压缩空气所形成的气旋流场吹散为多个粒子后即可呈现快速降温效果,以达到在低温下使铜铝相互键合的目的。
申请公布号 CN101783301A 申请公布日期 2010.07.21
申请号 CN200910005203.9 申请日期 2009.01.16
申请人 林淑清 发明人 陈建州
分类号 H01L21/60(2006.01)I;H01L23/373(2006.01)I 主分类号 H01L21/60(2006.01)I
代理机构 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 代理人 寿宁;张华辉
主权项 一种异质材料键合方法,其特征在于其包含以下步骤:提供一基材;使用一第一金属导线与一第二金属导线分别电性连接一电源,以提供不同电性至该第一金属导线与该第二金属导线,且该第一金属导线与该第二金属导线是以不同该基材的金属材料所制成;依据该第一金属导线及该第二金属导线的不同电性产生电弧;使用该电弧加热该第一金属导线与该第二金属导线,以熔融该第一金属导线及该第二金属导线成为一熔融材;使用压缩空气喷射该熔融材而吹散为多个粒子,以吹送该多个粒子至该基材上;以及形成一喷涂层于该基材上。
地址 中国台湾台北县