新型应用于LED激光切割设备的X-Y-θ运动平台

摘要

本实用新型涉及应用于LED激光切割设备的X-Y-θ运动平台，包括X-Y轴和θ轴，X-Y轴和θ轴均呈中空结构，X-Y轴包含X轴传送单元和Y轴传送单元，X轴传送单元包含X轴板和控制X轴板运动的直线马达，Y轴传送单元包含Y轴板和控制Y轴板运动的直线马达，Y轴传送单元安装于X轴传送单元的X轴板上，在Y轴传送单元的Y轴板上设置θ轴，θ轴包括转轴和控制转轴旋转的电机，在θ轴的转轴中安装真空吸附模块，真空吸附模块的吸附平面高于θ轴转轴的表面，X-Y轴布置在底板上。应用于LED激光切割设备中X-Y-θ运动平台实现了自身惯量小、启动和停止时间短、微米级定位、切割道秒级角度调整功能，满足晶圆切割量产的要求。

主权项

新型应用于LED激光切割设备的X-Y-θ运动平台，其特征在于：包括X-Y轴和θ轴，所述X-Y轴和θ轴均呈中空结构，X-Y轴包含X轴传送单元和Y轴传送单元，X轴传送单元包含X轴板和控制X轴板运动的直线马达，Y轴传送单元包含Y轴板和控制Y轴板运动的直线马达，Y轴传送单元安装于X轴传送单元的X轴板上，在Y轴传送单元的Y轴板上设置θ轴，θ轴包括转轴和控制转轴旋转的压电陶瓷电机，在θ轴的转轴中安装真空吸附模块，真空吸附模块的吸附平面高于θ轴转轴的表面，由θ轴转轴驱动真空吸附模块作旋转运动，由X-Y轴驱动真空吸附模块沿X、Y方向作两个自由度运动；所述X-Y轴布置在底板上，在底板的底部安装有下CCD影像系统，下CCD影像系统透过X-Y轴和θ轴的中空结构与真空吸附模块相对。