一种磁控溅射设备的阴极冷却装置

摘要

本实用新型涉及一种冷却装置，具体的说是一种磁控溅射设备中对阴极靶材进行冷却的装置。该冷却装置包括仓体上壁、靶材、降温板，所述的降温板设置在仓体上壁和靶材之间，其中在降温板的内部设置由冷却水管道。所述的降温板内部设置的冷却水管道包括两条管道，其中两条管道分别带有进水口和出水口，冷却水管道在降温板的内部为“M”型排列。本实用新型由于采用上述结构，从而能有效的对靶材进行降温，使控溅射设备内太阳能电池的溅镀效果得到很大程度的提高。

主权项

一种磁控溅射设备的阴极冷却装置，其特征在于：该冷却装置包括仓体上壁(1)、靶材(2)、降温板(3)，所述的降温板(3)设置在仓体上壁(1)和靶材(2)之间，其中在降温板(3)的内部设置由冷却水管道(4)。