用于鉴别气体的化学组成的方法及设备

摘要

本发明的实施方式涉及一种或多种气体的组成分析，例如来自等离子蚀刻或等离子增强化学气相沉积(PECVD)之类的半导体制备工艺取样得到的气体混合物的组成分析。特定实施方式向该样本的等离子体提供充足功率，以将大量分子与分子碎片解离成独立的原子。由此将充足功率(通常为3至40W/cm3的功率密度)递送入该等离子体，大部分发射峰由独立原子的发射得到，从而建立有助于简化所研究气体的化学成分的识别的光谱。气体的构成要素的此类精确识别可允许精确决定正在实施的工艺的阶段，且尤其允许检测工艺终点。

主权项

一种方法，其包括：从在低于大气压力条件下运作的加工室取样得到分子形式的气体；对所述气体施加功率，使得从该气体的等离子体发出的光学发射中的很大部分来自独立的原子；以及由所述光学发射来决定所述气体的原子的相对浓度。