微机电装置及阵列、光调制装置及阵列和图像形成设备

摘要

本发明公开了微机电装置及阵列、光调制装置及阵列和图像形成设备。过渡时间是从可移动部分沿第一方向旋转移位且停止的状态开始到驱动部分向可移动部分施加物理作用力来沿不同于第一方向的第二方向旋转移位可移动部分并且可移动部分到达最终位移位置的状态的时间。弹性支持部分的弹性力值和过渡时间具有的关系是，当弹性支持部分的弹性力值等于特定值时，过渡时间取局部最大值。弹性支持部分的弹性力值等于或者小于过渡时间取局部最大值时的所述特定值。

主权项

一种微机电装置，包括：可移动部分；弹性支持部分，支持可移动部分，使得可移动部分能够弹性移位；多个驱动部分，将物理作用力沿不同的方向施加到可移动部分，以便沿第一和第二方向旋转移位可移动部分，其中：过渡时间是从可移动部分已沿第一方向旋转移位且停止的状态，到所述多个驱动部分向可移动部分施加物理作用力来沿不同于第一方向的第二方向旋转移位可移动部分并且可移动部分到达最终位移位置的状态的时间，弹性支持部分的弹性力值和过渡时间具有的关系是，当弹性支持部分的弹性力值等于特定值时，过渡时间取局部最大值，以及弹性支持部分的弹性力值小于过渡时间取局部最大值时的所述特定值。