发明名称 硅棒拉制用子晶夹头
摘要 一种硅棒拉制用子晶夹头,其设有多棱台孔,子晶的连接多棱台套装在夹头的多棱台孔中。子晶与夹头间通过多棱台的轴、孔配合连接结构实现了扭力传递和轴向拉力承受,无需在子晶壁上磨制缺口,更不需要用固定销来连接,子晶上的提拉杆的截面积不会减小,从结构上消除子晶在拉制过程的断裂因素,既能解决子晶的断裂问题,又能实现子晶与子晶夹头的同步旋转。
申请公布号 CN101781793A 申请公布日期 2010.07.21
申请号 CN200910255740.9 申请日期 2009.12.23
申请人 常州亿晶光电科技有限公司 发明人 蒋新民
分类号 C30B15/32(2006.01)I 主分类号 C30B15/32(2006.01)I
代理机构 常州市维益专利事务所 32211 代理人 周祥生
主权项 一种硅棒拉制用子晶夹头,其特征是:包括螺纹孔(21)、多棱台孔(22)和导向孔(23),螺纹孔(21)、多棱台孔(22)与导向孔(23)为同轴孔系,多棱台孔(22)的锥角为90°~150°,且多棱台孔(22)的上口大于下口。
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