发明名称 |
一种检测反射镜入射角的装置 |
摘要 |
本实用新型提供的一种检测反射镜入射角的装置,包括激光器、五角分光棱镜、反射镜以及测角仪器,所述五角分光棱镜置于所述激光器和所述反射镜之间;所述五角分光棱镜有入射面和反射面;所述激光器产生的入射光线射入所述的入射面,并且所述五角分光棱镜可以将所述的入射光线分为透射光线和经所述反射面反射后射出的第一反射光线;所述透射光线能够被所述反射镜反射产生第二反射光线;所述测角仪器能够测得所述第一反射光线和所述第二反射光线之间的夹角。本实用新型通过引入五角分光棱镜,将检测光束反射镜入射角的问题转换为检测光束夹角之间的问题,不但简化了检测过程,而且具有很高的检测精度。 |
申请公布号 |
CN201532193U |
申请公布日期 |
2010.07.21 |
申请号 |
CN200920210088.4 |
申请日期 |
2009.09.25 |
申请人 |
上海微电子装备有限公司 |
发明人 |
张志平;肖鹏飞;张晓文;池峰;陈勇辉 |
分类号 |
G01B11/26(2006.01)I |
主分类号 |
G01B11/26(2006.01)I |
代理机构 |
上海智信专利代理有限公司 31002 |
代理人 |
王洁 |
主权项 |
一种检测反射镜入射角的装置,包括激光器、五角分光棱镜、反射镜以及测角仪器,其特征在于,所述五角分光棱镜置于所述激光器和所述反射镜之间;所述五角分光棱镜有入射面和反射面;所述激光器产生的入射光线射入所述的入射面,并且所述五角分光棱镜可以将所述的入射光线分为透射光线和经所述反射面反射后射出的第一反射光线;所述透射光线能够被所述反射镜反射产生第二反射光线;所述测角仪器能够测得所述第一反射光线和所述第二反射光线之间的夹角。 |
地址 |
201203 上海市张江高科技园区张东路1525号 |