| 发明名称 |
CAPACITANCE MEASURING CIRCUIT, CAPACITANCE MEASURING INSTRUMENT, AND MICROPHONE DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1424563(B1) |
申请公布日期 |
2010.07.21 |
| 申请号 |
EP20020798044 |
申请日期 |
2002.09.06 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
YAKABE, MASAMI;IKEUCHI, NAOKI |
| 分类号 |
G01D5/24;G01R27/26;G01N27/22;H04R3/06;H04R19/04;H04R29/00 |
主分类号 |
G01D5/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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