| 发明名称 |
A CHEMICAL MECHANICAL POLISHING SLURRY SYSTEM HAVING AN ACTIVATOR SOLUTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1124912(B1) |
申请公布日期 |
2010.07.21 |
| 申请号 |
EP19990955147 |
申请日期 |
1999.10.22 |
| 申请人 |
FUJIFILM ELECTRONIC MATERIALS USA, INC. |
发明人 |
MAHULIKAR, DEEPAK |
| 分类号 |
C09K13/02;C09K13/04;C09K13/06;C09K13/08;H01L21/304;H01L21/306;B24B37/00;C09K3/14;A01N33/06;A01N43/40;A01N59/08;B24B1/00;C09G1/02 |
主分类号 |
C09K13/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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