聚焦式离子束系统的物件加工方法及应用于该方法的载具

摘要

一种聚焦式离子束系统(Focused Ion Beam，FIB)的物件加工方法及应用于该方法的载具，应用于包括有载具的聚焦式离子束系统，该载具具有移载件及设置有物件的加工部，该方法是在置入载具到FIB系统前，将该移载件设定为齐平于设置有物件后的该加工部的高度，在系统内进行基座高度调整时便使该移载件与该加工部与系统的共心点共平面。对该加工部的物件进行加工后，不需再针对移载件位置进行共心高度调整便可将加工后的物件或物件上的被加工区块移载至该移载件。

主权项

一种物件加工方法，应用于包括有一载具的聚焦式离子束系统，该载具包括有设置有物件的一加工部以及一移载件，其特征在于，该物件加工方法包括以下步骤：将该移载件顶端位置齐平于该加工部设置有该物件后的高度；对该加工部的该物件进行加工；以及将加工后的该物件或该物件上的被加工区块移载至该移载件。