TFT、有该TFT的电子器件及有该TFT的平板显示器件

摘要

本发明提供一种改进的薄膜晶体管(TFT)，该薄膜晶体管能在室温下形成且有源层和源电极及漏电极之间的接触电阻得到改善，且还提供一种利用该TFT的平板显示器件。该TFT包括：有源层，该有源层包括至少两层纳米粒子层，所述纳米粒子层包括至少一种纳米粒子类型；插在纳米粒子层之间的绝缘层；与有源层绝缘的栅电极；以及在各自的沟道中形成的源电极及漏电极，源电极及漏电极接触有源层的纳米粒子层之一。该TFT的结构使多个不同类型的TFT的同时生产变得容易。

主权项

一种薄膜晶体管TFT，包括：有源层，其包括第一纳米粒子层、第二纳米粒子层和插入在第一和第二纳米粒子层之间的绝缘层，该第一纳米粒子层包含至少一个第一纳米粒子，该第二纳米粒子层包含至少一个不同于所述第一纳米粒子的第二纳米粒子；栅电极，与有源层绝缘；源电极和漏电极，与第一或第二纳米粒子层接触。