感光性组合物、由该组合物形成的固化膜、以及具有固化膜的元件

摘要

本发明涉及一种感光性组合物，含有(a)聚硅氧烷、(b)丙烯酸树脂、(c)醌二叠氮化合物、(d)溶剂，其中，(a)聚硅氧烷与(b)丙烯酸树脂的混合比率以重量比计为聚硅氧烷/丙烯酸树脂＝80/20～20/80，且(a)聚硅氧烷是可以通过1种以上通式(1)所示的有机硅烷进行反应来合成的聚硅氧烷。(式中，R¹表示氢原子、碳原子数为1～10的烷基、碳原子数为2～10的链烯基、碳原子数为6～15的芳基中的任一种，多个R¹分别可以相同也可以不同。R²表示氢原子、碳原子数为1～6的烷基、碳原子数为2～6的酰基、碳原子数为6～15的芳基中的任一种，多个R²分别可以相同也可以不同。n表示0～3的整数)。根据本发明，可以提供一种感光性组合物，该感光性组合物可用于形成TFT基板用平坦化膜、层间绝缘膜、或者光波导的芯和/或包覆材，并可以得到具有高耐热性、高透明性的特性、且与基板的粘附性良好的固化膜。

主权项

1.一种感光性组合物，含有(a)聚硅氧烷、(b)丙烯酸树脂、(c)醌二叠氮化合物、(d)溶剂，其中，(a)聚硅氧烷/(b)丙烯酸树脂的混合比率以重量比计为80/20～20/80，且(a)聚硅氧烷是通过1种以上通式(1)所示的有机硅烷进行反应来合成的聚硅氧烷，上式中，R¹表示氢原子、碳原子数为1～10的烷基、碳原子数为2～10的链烯基、碳原子数为6～15的芳基中的任一种，多个R¹分别可以相同也可以不同；R²表示氢原子、碳原子数为1～6的烷基、碳原子数为2～6的酰基、碳原子数为6～15的芳基中的任一种，多个R²分别可以相同也可以不同；n表示0～3的整数。