| 发明名称 | 一种晶圆移动装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种晶圆移动装置，包括晶圆吸盘架和连杆，所述晶圆吸盘架为两个，所述晶圆吸盘架对称固定于所述连杆的两端，所述晶圆吸盘架包括固定架、两个吸盘臂和限位杆；所述吸盘臂的一端具有限位孔，另一端具有吸盘安装孔，所述两个吸盘臂具有限位孔的一端分别固定于所述固定架的两端，且所述吸盘臂在所述固定架上可以以其限位孔为支点进行旋转；所述限位杆的两端分别固定于所述两个吸盘臂上。该晶圆移动装置能够准确的将晶圆吸盘架调整到适合相应晶圆尺寸的位置。 | ||
| 申请公布号 | CN201532943U | 申请公布日期 | 2010.07.21 |
| 申请号 | CN200920212170.0 | 申请日期 | 2009.11.10 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 李刚;郑鹏飞 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种晶圆移动装置，包括晶圆吸盘架和连杆，所述晶圆吸盘架为两个，其特征在于，所述晶圆吸盘架对称固定于所述连杆的两端，所述晶圆吸盘架包括固定架、两个吸盘臂和限位杆；所述吸盘臂的一端具有限位孔，另一端具有吸盘安装孔，所述两个吸盘臂具有限位孔的一端分别固定于所述固定架的两端，且所述吸盘臂在所述固定架上可以以其限位孔为支点进行旋转；所述限位杆的两端分别固定于所述两个吸盘臂上。 | ||
| 地址 | 201203 上海市张江路18号 | ||