三维测量装置

摘要

本发明提供一种三维测量装置，在进行采用了相位移法的三维测量时，能以较短的时间进行较高精度的测量。具有三维测量装置的基板检查装置包括照射装置，其对印刷有焊锡膏的印刷基板照射条纹状的光图案；CCD照相机，其对印刷基板上的被照射的部分进行摄像；控制装置，其根据通过前述摄像的图像数据进行三维测量。控制装置根据在第1位置照射周期为2μm的第1光图案而获得的图像数据，计算各像素的第1高度数据。另外，在按照半像素倾斜偏移的第2位置，根据照射周期为4μm的第2光图案而获得的图像数据，计算各像素的第2高度数据。接着，根据第2高度数据指定各第1高度数据的条纹数量，将该第1高度数据的值置换为考虑了条纹数量的值。

主权项

一种三维测量装置，其包括：照射机构，该照射机构可至少对被测量物，切换而照射具有条纹状的光强度分布，并且周期不同的多个光图案；摄像机构，该摄像机构具有可对来自照射上述光图案的上述被测量物的反射光进行摄像的摄像器件；位移机构，该位移机构使上述摄像器件和上述被测量物的位置关系发生相对位移；图像处理机构，该图像处理机构根据通过上述成像机构摄制的图像数据，进行三维测量；其特征在于上述图像处理机构包括：第1运算机构，该第1运算机构根据在第1位置照射相位多次变化的第1周期的第1光图案而获得的多个图像数据，通过相位移法，将图像数据的各像素单位的高度数据作为第1高度数据而计算；第2运算机构，该第2运算机构根据多个图像数据，通过相位移法，将图像数据的各像素单位的高度数据作为第2高度数据而计算，上述多个图像数据为在相对上述第1位置，沿规定方向按照半像素间距偏移的第2位置，多次改变长于第1周期的第2周期的第2光图案的相位，进行照射而获得；数据置换机构，该数据置换机构根据该第2高度数据，指定上述各第1高度数据的条纹数量，并且将该第1高度数据的值置换为考虑了该条纹数量的值。