静电卡盘装置的修补方法和修补装置、以及静电卡盘装置

摘要

本发明提供一种静电卡盘装置的修补方法、该修补方法所使用的修补装置和适用于它们的静电卡盘装置，该静电卡盘的修补方法在静电卡盘装置的粘合剂层的侧面被侵蚀时，能够均匀地修补该侵蚀部分。一种静电卡盘装置的修补方法，其为在金属底座上至少具有粘合剂层和吸附层的静电卡盘装置的修补方法，其特征在于，在被侵蚀的粘合剂层的侧面，卷绕线状的粘合剂后，进行热压处理。本发明还提供一种修补装置(10)，其在该修补方法中使用，具有使静电卡盘装置(20)旋转的旋转台(11)、向粘合剂层(22)供给粘合剂(14)的转轴(12)、和在转轴(12)与粘合剂层(22)之间用于确定粘合剂(14)的位置的定位单元(13)。

主权项

一种静电卡盘装置的修补方法，该静电卡盘装置在金属底座上至少具有粘合剂层和吸附层，该修补方法的特征在于：在被侵蚀的粘合剂层的侧面卷绕线状的粘合剂后，进行热压处理。