碲化镉薄膜太阳电池气体输运沉积生长系统

摘要

本实用新型公开了一种碲化镉薄膜太阳电池气体输运沉积生长系统。它具有可以快速、大面积、低真空条件下生长半导体薄膜等优点，其结构为：它包括带有抽真空装置的真空制模室，所述真空制模室内设有传动装置，在传动装置上设有加热装置，工件置于传动装置上，工件与送料装置连接，工件在真空制模室内往复运动，速度可调；在真空制模室内还设有至少一个沉积源，沉积源与工件相配合；同时沉积源还与气体管路连接。

主权项

一种碲化镉薄膜太阳电池气体输运沉积生长系统，它包括带有抽真空装置的真空制模室，其特征是，所述真空制模室内设有传动装置，在传动装置上设有加热装置，工件置于传动装置上，工件与送料装置连接，工件在真空制模室内往复运动，速度可调；在真空制模室内还设有至少一个沉积源，沉积源与工件相配合；同时沉积源还与气体管路连接。