发明名称
摘要
申请公布号 JP4509926(B2) 申请公布日期 2010.07.21
申请号 JP20050375382 申请日期 2005.12.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;G02F1/13;H01L21/677 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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