发明名称 硅棒拉制用子晶夹头部件
摘要 一种硅棒拉制用子晶夹头部件,子晶设有连接多棱锥台和提拉杆,连接多棱锥台的上台面大于下台面,提拉杆设置在下台面的下端面,在夹头设有多棱台孔,子晶的连接多棱锥台套装在夹头的多棱台孔中。子晶与夹头间通过多棱锥的轴、孔配合连接结构实现了扭力传递和轴向拉力承受,无需在子晶壁上磨制缺口,更不需要用固定销来连接,子晶上的提拉杆的截面积不会减小,从结构上消除子晶在拉制过程的断裂因素,既能解决子晶的断裂问题,又能实现子晶与子晶夹头的同步旋转。
申请公布号 CN101781792A 申请公布日期 2010.07.21
申请号 CN200910255739.6 申请日期 2009.12.23
申请人 常州亿晶光电科技有限公司 发明人 蒋新民
分类号 C30B15/32(2006.01)I 主分类号 C30B15/32(2006.01)I
代理机构 常州市维益专利事务所 32211 代理人 周祥生
主权项 一种硅棒拉制用子晶夹头部件,它包括子晶(1)和夹头(2),其特征是:子晶(1)包括截面形状为多边形的连接多棱台(11)和提拉杆(12),连接多棱台(11)的上台面(13)大于下台面(14),提拉杆(12)设置在下台面(14)上,所述夹头(2)包括螺纹孔(21)、多棱台孔(22)和导向孔(23),螺纹孔(21)、多棱台孔(22)与导向孔(23)三者间为同轴孔系,连接多棱台(11)套装在多棱台孔(22)中,提拉杆(12)由导向孔(23)配合导向。
地址 213213 江苏省金坛市尧塘镇金武路18号