一种氧化铟锡靶材的生产方法

摘要

本发明公开了一种氧化铟锡靶材的生产方法。该方法采用以下步骤：A.以纯度大于99.99％、平均粒径0.01-10微米的ITO粉作为靶材主原料；B.将纯水、甲基丙烯酰胺单体、N-N’二甲基丙烯酰胺充分溶解组成预混液，以四甲基氢氧化氨做分散剂，加入步骤A所得的靶材原料，搅拌制浆并经研磨后得到浆料；C.步骤B所得的浆料，经浇注后，再将浆料进行脱水；D.对步骤C的产物进行致密化处理，即得氧化铟锡靶材。本发明解决了现有技术所得的ITO靶材难以高密度化、大尺寸化和形状多样化的问题，生产效率和成品率大大提高，所得的ITO靶材密度高，且不受尺寸和形状的约束。

主权项

一种氧化铟锡靶材的生产方法，其特征在于，采用以下步骤：A.以氧化锡和氧化铟的充分混合粉体或氧化锡和氧化铟的化学共沉淀粉体为主要原料；其中，氧化锡的含量为5-20wt％，氧化铟的含量80-95wt％，氧化锡和氧化铟粉体平均粒径限制在0.01-10微米，原料粉体限于纯度大于4N；B.将纯水、甲基丙烯酰胺单体或丙烯酰胺单体、N-N’二甲基双丙烯酰胺以100∶15-20∶0.6-1的重量比例充分溶解组成预混液，加入0.1-1wt％四甲基氢氧化氨做分散剂，加入步骤A所得的靶材原料，加入原料粉体的体积含量为50-75％，搅拌制浆并经研磨后得到浆料；C.步骤B所得的浆料，加入0.1-1.5％体积的正丁醇有机脱气剂，加入0.01-3.0wt‰四甲基乙二胺催化剂和0.01-3.0wt‰过硫酸氨引发剂真空搅拌脱气15-60分钟，然后根据所需产品的形状浇注入相应形状的模具，再将浆料进行抽真空脱水，从而固化脱模得到半湿的素坯；D.对步骤C的产物进行烘干和致密化处理，即得氧化铟锡靶材。