发明名称 |
使用借助电极在固体电介质上通过被介电地阻挡的气体放电产生的等离子体处理表面的装置 |
摘要 |
按本发明提出了一种用等离子体(2)处理表面的装置,所述等离子体(2)借助电极(1)在固体电介质(3)上通过被介电地阻挡的气体放电产生,其中,该装置具有一个作用表面(4),该作用表面在所述处理期间直接地与等离子体(2)邻接,其中,所述作用表面是可逆转地变形的。 |
申请公布号 |
CN101785370A |
申请公布日期 |
2010.07.21 |
申请号 |
CN200880023034.5 |
申请日期 |
2008.06.24 |
申请人 |
奇诺格有限责任公司 |
发明人 |
D·万德克;A·克默里恩;C·克默里恩 |
分类号 |
H05H1/24(2006.01)I |
主分类号 |
H05H1/24(2006.01)I |
代理机构 |
永新专利商标代理有限公司 72002 |
代理人 |
侯鸣慧 |
主权项 |
用等离子体(2)处理表面的装置,所述等离子体(2)借助电极(1)在固体电介质(3)上通过被介电地阻挡的气体放电产生,其中,该装置具有一作用表面(4),该作用表面在所述处理期间直接地与所述等离子体(2)邻接,其特征在于,所述作用表面是可逆转地变形的。 |
地址 |
德国杜德施塔特 |