一种能自行降温的磁控溅射仓室

摘要

本实用新型涉及一种能自行降温的磁控溅射仓室，该仓室包括仓室主体、反光板，所述的反光板设置在仓室主体的内部。所述的反光板分为四块分别设置在仓室主体内部的上、下、左右面上，由于仓室主体的前后面需要分别进出电池片，所以不设置反光板。本实用新型由于采用上述结构，即在仓室主体的内部上下左右增设了反光板，所以在设备运行的过程中，太阳能电池进入仓室后，仓室内部开始加热，由于反光板的作用，热量到反光板以后被反射，有效的控制了热量向仓室主体结构的扩散，防止了仓室主体由于温度过高发生形变，不会影响设备的正常运行。

主权项

一种能自行降温的磁控溅射仓室，该降温装置包括仓室主体(1)，其特征在于：它还包括反光板(2)，所述的反光板(2)设置在仓室主体(1)的内部。