| 发明名称 | 用于防止机台控制器受侵蚀的保护罩 | ||
| 摘要 | 本实用新型提出一种用于防止机台控制器受侵蚀的保护罩，包括挡板部以及至少两个支撑部，所述挡板部的形状和大小与所述机台控制器相适配，所述至少两个支撑部位连接于所述挡板部并位于所述挡板部的同一侧。本实用新型提出的用于防止机台控制器受侵蚀的保护罩，可有效防止机台控制器受到酸性或者碱性溶液的侵蚀，从而保障机台正常运行。 | ||
| 申请公布号 | CN201532938U | 申请公布日期 | 2010.07.21 |
| 申请号 | CN200920209611.1 | 申请日期 | 2009.09.11 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 李广宁 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种用于防止机台控制器受侵蚀的保护罩，其特征在于，包括挡板部以及至少两个支撑部，所述挡板部的形状和大小与所述机台控制器相适配，所述至少两个支撑部位连接于所述挡板部并位于所述挡板部的同一侧。 | ||
| 地址 | 201203 上海市张江路18号 | ||