微流控芯片激光智能检测仪

摘要

本实用新型微流控芯片激光智能检测仪，用于检测微流芯片尺度和形状。特征：y方向高精密导轨和x方向高精密导轨交叉构成的高精度定位系统由高精度伺服电机、x方向伺服电机连接控制驱动，y方向高精密导轨、x方向高精密导轨上分别装有高精度丝杠和y方向光栅尺、x方向光栅尺，激光CCD位移传感器安装在拱形支架上，通过抗干扰防护电缆与激光CCD位移传感器的控制器相连，激光CCD位移传感器的控制器通过USB接口与计算机通信，伺服电机控制器通过计算机的并口连接控制y方向伺服电机、x方向伺服电机。用计算机实现多路控制，智能软件实现同步控制检测仪器、数据采集、数据处理、显示测量结果和绘制出三维图形。

主权项

微流控芯片激光智能检测仪，其特征在于，包括激光CCD位移传感器(14)，激光CCD位移传感器的控制器(2)，纵向精密导轨(8)、横向精密导轨(3)、计算机(1)、横向伺服电机(5)、纵向伺服电机(11)、伺服电机控制器(12)；横向精密导轨(3)和纵向精密导轨(8)交叉构成的精密十字定位系统由横向伺服电机(5)和纵向伺服电机(11)驱动，横向精密导轨(3)和纵向精密导轨(8)上分别装有精密丝杠和纵向光栅尺(4)及横向光栅尺(7)，激光CCD位移传感器(14)安装在拱形支架(13)上，通过抗干扰防护电缆与激光CCD位移传感器的控制器(2)相连，激光CCD位移传感器的控制器(2)通过USB接口与计算机(1)通信，伺服电机控制器(12)连接计算机(1)的并口控制横向伺服电机(5)和纵向伺服电机(11)。