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发明名称
摘要
申请公布号 JP4507985(B2) 申请公布日期 2010.07.21
申请号 JP20050155284 申请日期 2005.05.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/50;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68 主分类号 H01L21/50
代理机构 代理人
主权项
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