发明名称
摘要
申请公布号 JP4510034(B2) 申请公布日期 2010.07.21
申请号 JP20070011331 申请日期 2007.01.22
申请人 发明人
分类号 H01L21/66;H01L29/78 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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