发明名称 METHOD FOR FORMING QUARTZ GLASS
摘要
申请公布号 EP1783103(A4) 申请公布日期 2010.07.21
申请号 EP20050765431 申请日期 2005.06.29
申请人 NIKON CORPORATION 发明人 ABE, TETSUYA;YAJIMA, SHOUJI
分类号 C03B20/00;C03B11/00;G03F1/60;H01L21/027 主分类号 C03B20/00
代理机构 代理人
主权项
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