发明名称 Ultrashallow photodiode using indium
摘要 The invention provides an imager having a p-n-p photodiode with an ultrashallow junction depth. A p+ junction layer of the photodiode is doped with indium to decrease transient enhanced diffusion effects, minimize fixed pattern noise and fill factor loss.
申请公布号 US7759154(B2) 申请公布日期 2010.07.20
申请号 US20080081701 申请日期 2008.04.18
申请人 MICRON TECHNOLOGY, INC. 发明人 MOULI CHANDRA
分类号 H01L21/00;H01L27/146;H01L31/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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