| 摘要 |
1. Система напуска газа, включающая заполняющую магистраль, соединенную через клапаны, с откачными магистралями и с баллонами, баллоны соединены с вакуумными объемами. ! 2. Система по п.1, характеризующаяся тем, что баллоны соединены с вакуумными объемами через площадные натекатели. ! 3. Система по п.1, характеризующаяся тем, что выполнена в сверхвысоковакуумном исполнении. |
