发明名称 CMP slurry composition for polishing copper line and polishing method using the same
摘要
申请公布号 KR100970094(B1) 申请公布日期 2010.07.16
申请号 KR20070102311 申请日期 2007.10.10
申请人 发明人
分类号 C09K3/14 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人
主权项
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