SUBSTRATE WASHING APPARATUS,申请号KR20067007461-传众专利搜索

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发明名称	SUBSTRATE WASHING APPARATUS
摘要
申请公布号	KR100970601(B1)	申请公布日期	2010.07.16
申请号	KR20067007461	申请日期	2003.10.20
申请人		发明人
分类号	H01L21/304;B08B3/02;H01L21/00	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
主权项
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