发明名称 Verfahren zur Anwendung von Streuungsmessungen mit statistisch relevanten Spektren zur Steuerung von Halbleiterfertigungsprozessen
摘要
申请公布号 DE10297664(B4) 申请公布日期 2010.07.15
申请号 DE2002197664 申请日期 2002.12.17
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES INC. 发明人 STIRTON, JAMES BROC;LENSING, KEVIN R.;NARIMAN, HOMI E.;REEVES, STEVEN P.
分类号 G01N21/95;G01N21/47;G01N21/956;H01L21/66 主分类号 G01N21/95
代理机构 代理人
主权项
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