| 发明名称 |
Verfahren zum selbstjustierenden Herstellen eines Transistors mit U-förmigem Gate sowie Auswahltransistor für eine Speicherzelle |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE102004035108(B4) |
申请公布日期 |
2010.07.15 |
| 申请号 |
DE200410035108 |
申请日期 |
2004.07.20 |
| 申请人 |
QIMONDA AG |
发明人 |
SEIDL, HARALD;GUTSCHE, MARTIN ULRICH |
| 分类号 |
H01L21/336;H01L21/8242;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/336 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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