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Ein Verfahren und ein System, um ein MEMS-Sensorels zu testen, beinhaltet in einer Ausführungsform: einen Testsignalgenerator, welcher so konfiguriert ist, dass er ein Breitfrequenzband-Testsignal erzeugt, und ein Verifiziersignal, welches im Wesentlichen identisch zu dem Testsignal ist, ein mikroelektrisches-mechanisches System-(MEMS-)Sensorelement, welches operativ mit dem Testsignalgenerator verbunden ist, um ein Sensorausgangssignal in Antwort auf das Testsignal zu erzeugen, eine Vergleichskomponente, welche so konfiguriert ist, dass sie ein Auswerte-Ausgangssignal basierend auf dem Verifiziersignal und dem Testsignal erzeugt, und eine Auswerteschaltung, welche operativ mit der Vergleichskomponente verbunden ist und so konfiguriert ist, dass sie eine Fehlanpassung zwischen dem Verifiziersignal und dem Sensorausgangssignal basierend auf dem Auswertesignal identifiziert.
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