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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES ZERLEGBAREN SUBSTRATS
摘要
申请公布号 AT472620(T) 申请公布日期 2010.07.15
申请号 AT20050857330T 申请日期 2005.11.25
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES 发明人 TAUZIN, AURELIE;LAGAHE-BLANCHARD, CHRYSTELLE
分类号 C30B33/02;C30B31/22;H01L21/762 主分类号 C30B33/02
代理机构 代理人
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