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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HSQ-SCHICHTEN UND VON GRENZENLOSEN VIAS MIT STRUKTURIERTEN METALLSCHICHTEN WOBEI DIE ÖFFNUNGEN MIT HSQ GEFÜLLT SIND
摘要
申请公布号 DE69841696(D1) 申请公布日期 2010.07.15
申请号 DE1998641696 申请日期 1998.10.16
申请人 GLOBALFOUNDRIES INC. 发明人 CHEN, ROBERT C.;SHIELDS, JEFFREY A.;DAWSON, ROBERT;TRAN, KHANH
分类号 H01L21/314;H01L21/316;H01L21/768 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
主权项
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