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发明名称 SUBSTRAT UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES SUBSTRATS
摘要
申请公布号 DE50312772(D1) 申请公布日期 2010.07.15
申请号 DE20035012772 申请日期 2003.04.16
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 HOFMANN, FRANZ;LUYKEN, RICHARD JOHANNES;ROESNER, WOLFGANG;SPECHT, MICHAEL;STAEDELE, MARTIN
分类号 H01L21/762;H01L29/06;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/265;H01L21/336;H01L21/8234;H01L21/84;H01L27/08;H01L27/088;H01L27/12;H01L29/786 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
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