| 发明名称 | 抛光垫 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种抛光垫，其包括：具有抛光表面的抛光层，所述抛光表面包括设置在该抛光层内且距该抛光表面具有可测量深度的多个凹槽及不具有凹槽的阻挡区；以及设置在该阻挡区内并被该阻挡区围绕的透明窗。 | ||
| 申请公布号 | CN101778701A | 申请公布日期 | 2010.07.14 |
| 申请号 | CN200880102761.0 | 申请日期 | 2008.08.13 |
| 申请人 | 卡伯特微电子公司 | 发明人 | 凯利·纽厄尔 |
| 分类号 | B24D11/00(2006.01)I;B24B37/00(2006.01)I | 主分类号 | B24D11/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 宋莉 |
| 主权项 | 一种抛光垫，其包括：(a)具有抛光表面的抛光层，其中该抛光表面包括：(1)设置在该抛光层内且距该抛光表面具有可测量深度的多个凹槽，及(2)不具有凹槽的阻挡区，和(b)设置在该阻挡区内并被该阻挡区围绕的透明窗。 | ||
| 地址 | 美国伊利诺伊州 | ||