识别基板上的薄膜的方法和设备

摘要

本发明提供一种用于检测电子装置处理工具内一电子装置中的膜的系统、设备及方法。本发明包括适于将该设备耦接至该电子装置处理工具的观察窗的安装件；置于该安装件内并适于照射该电子装置处理工具内的该电子装置的光能量源；适于发送指示该膜存在的波长的光学系统；以及经定位以接收由该基板所反射并通过该光学系统的光能量的光学检测器，该光学系统适于检测该薄膜的存在与否。本发明也公开许多其它特征。

主权项

一种检测电子装置处理工具内的电子装置中的膜的设备，包括：安装件，适于将该设备耦接至该电子装置处理工具的观察窗；光能量源，置于该安装件内并适于照射该电子装置处理工具内的该电子装置；光学系统，适于使指示该膜存在的波长通过；以及光学检测器，其经定位以接收由该基板所反射并通过该光学系统的光能量，该光学系统适于检测该膜存在与否。