一种用于扫描隧道显微镜的主动式降噪方法及装置

摘要

本发明公开了一种用于扫描隧道显微镜的主动式降噪方法，该方法具体为：在采谱探针所在的扫描管上同时并列安装一个机械性能相同的探针作为外界噪声采样探针，并将该采样探针设置在反馈闭环状态，工作时利用采样探针保持与样品表面之间距离恒定的同时，使采谱探针一同与样品表面之间保持距离恒定。本发明还同时公开了一种应用上述主动式降噪方法的扫描隧道显微镜。本发明通过设置机械性能相同的采样探针后，利用采样探针的反馈信号对采谱探针进行控制，从而使其与样品表面之间的距离保持恒定，为扫描隧道显微镜在噪声环境下可靠稳定地采集单点隧道谱提供了保证，同时，本发明扫描隧道显微镜具有结构简单，工作可靠稳定的特点。

主权项

一种用于扫描隧道显微镜的主动式降噪方法，该方法具体为：在采谱探针所在的扫描管上同时并列安装一个机械性能相同的探针作为外界噪声采样探针，并将该采样探针设置在反馈闭环状态，工作时，使采样探针与采谱探针同时工作在隧流状态，在处于隧流恒定工作模式中的采样探针保持与样品表面之间距离恒定的同时，使采谱探针与样品表面之间的距离保持恒定；所述采谱探针与采样探针在Z轴方向均可独立驱动，采样探针通过其自身Z轴方向的伸缩，实现与样品表面之间距离的恒定，同时采样探针的反馈信号被提取并调制到采谱探针的Z轴方向驱动信号中，使采谱探针一同保持与样品表面之间距离的恒定。