发明名称
摘要
申请公布号 JP4501201(B2) 申请公布日期 2010.07.14
申请号 JP20000013145 申请日期 2000.01.21
申请人 发明人
分类号 C23C16/42;H01L21/02;C23C16/32 主分类号 C23C16/42
代理机构 代理人
主权项
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