发明名称 |
一种新型场发射器件支撑体结构 |
摘要 |
本发明涉及一种场发射器件支撑体结构,在金属基板(1)上制备阵列贯穿通道(2);在金属基板(1)上表面设置上阵列介质支撑柱(3);在金属基板(1)下表面同样设置下阵列介质支撑柱(4),上阵列介质支撑柱(3)和下阵列介质支撑柱(4)的位置相对应;上阵列介质支撑柱(3)、金属基板(1)接触部分设置粘结剂,下阵列介质支撑柱(4)和金属基板(1)接触部分也设置粘结剂,通过粘结剂高温烧结使金属基板(1)、上阵列介质支撑柱(3)和下阵列介质支撑柱(4)形成一个整体;形成整体的金属基板和支撑体放置于阳极基板(5)和阴极基板(6)之间,通过封接排气,形成器件内的真空环境。 |
申请公布号 |
CN101777474A |
申请公布日期 |
2010.07.14 |
申请号 |
CN201010106320.7 |
申请日期 |
2010.02.02 |
申请人 |
东南大学 |
发明人 |
雷威;张晓兵;陈静;娄朝刚;王保平 |
分类号 |
H01J29/86(2006.01)I;H01J31/12(2006.01)I;H01J29/02(2006.01)I |
主分类号 |
H01J29/86(2006.01)I |
代理机构 |
南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 |
代理人 |
柏尚春 |
主权项 |
一种场发射器件支撑体结构,其特征是在金属基板(1)上制备阵列贯穿通道(2);在金属基板(1)上表面设置上阵列介质支撑柱(3);在金属基板(1)下表面同样设置下阵列介质支撑柱(4),上阵列介质支撑柱(3)和下阵列介质支撑柱(4)的位置相对应;上阵列介质支撑柱(3)、金属基板(1)接触部分设置粘结剂,下阵列介质支撑柱(4)和金属基板(1)接触部分也设置粘结剂,通过粘结剂高温烧结使金属基板(1)、上阵列介质支撑柱(3)和下阵列介质支撑柱(4)形成一个整体;形成整体的金属基板和支撑体放置于阳极基板(5)和阴极基板(6)之间,通过封接排气,形成器件内的真空环境。 |
地址 |
210009江苏省南京市江宁开发区东南大学路2号 |