基于石英音叉的纳米测头及试样表面微观形貌测量方法

摘要

本发明公开了一种基于石英音叉的纳米测头，其特征是：采用石英音叉作为探测试样微观形貌的微力传感器，在石英音叉的一个音叉臂上固定有压电驱动器，在另一个音叉臂上固定有压电传感器；设置石英音叉的振动方向与试样表面垂直，在靠近试样所在一侧的音叉臂上，固定设置垂直指向试样表面的钨探针，以正弦交流信号施加于压电驱动器作为励振信号，通过压电传感器检测音叉谐振信号。本发明的音叉振动方向与试样表面垂直，探针与样品接触时间短，给样品带来的损伤小，尤其适合软材料表面的高精度、微测量力的检测。

主权项

基于石英音叉的纳米测头，其特征是：采用石英音叉(1)作为探测试样微观形貌的微力传感器，在所述石英音叉(1)的一个音叉臂上固定有压电驱动器(2)，在另一个音叉臂上固定有压电传感器(3)；设置所述石英音叉(1)的振动方向与试样表面垂直，在靠近试样(6)所在一侧的音叉臂上，固定设置垂直指向试样表面的钨探针(7)，以正弦交流信号(4)施加于所述压电驱动器(2)作为励振信号，通过压电传感器(3)检测音叉谐振信号(5)。