发明名称
摘要
申请公布号 JP4505072(B2) 申请公布日期 2010.07.14
申请号 JP19990082624 申请日期 1999.03.25
申请人 发明人
分类号 H01L21/31;C23C16/46;H01L21/205 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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