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发明名称 REACTIVE ION ETCHING PROCESS FOR ETCHING METALS
摘要
申请公布号 EP2205775(A1) 申请公布日期 2010.07.14
申请号 EP20070815243 申请日期 2007.09.26
申请人 SILVERBROOK RESEARCH PTY. LTD 发明人 MCREYNOLDS, DARRELL, LARUE;LAKSHMI, C., S.;SILVERBROOK, KIA
分类号 C23F1/12;H01L21/306;H01L21/3065 主分类号 C23F1/12
代理机构 代理人
主权项
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