处理装置及具有处理装置的洁净系统

摘要

本发明涉及处理装置及具有处理装置的洁净系统。这种洁净系统，具有：具有围住腔室的天棚和地板面的房间；与所述腔室连通，净化所述腔室内的空气并供给洁净空气的送风装置；配置成可容纳所述洁净空气的装置主体；台；该台支撑所述装置主体，是从以下组中选择的任意台；即：构成为在与所述地板面之间气密地围住可通气的空间的台，以及气密地围住可通气的空间且可设置在所述地板面上的台；所述台具有：与所述空间连通的进风口，将已通过所述装置主体的所述洁净空气经由所述进风口导入到所述空间的吸引风扇；应连通所述空间和所述腔室、气密地结合所述台及所述天棚的回流管道。

主权项

一种处理装置，该处理装置与具有供给洁净空气的送风装置和地板面的房间共同利用，其特征在于，其具有可容纳所述洁净空气的装置主体和台；该台支撑所述装置主体，是从以下组中选择的任意台；即：具有在与所述地板面之间气密地围住可通气的空间的结构的台，以及气密地围住可通气的空间且可设置在所述地板面上的台；所述台具有：与所述空间连通的进风口，将已通过所述装置主体的所述洁净空气经由所述进风口导入到所述空间的吸引风扇。