发明名称 基于MEMS技术的可调带通滤波器
摘要 基于MEMS(微电子机械系统)技术制作的可调带通滤波器属于RF MEMS(射频微电子机械系统)领域。共面波导的信号线被切断可以使大部分频率段阻断,共面波导信号线和地在厚度上满足一定不同值,且在被切断信号线上方加载MEMS开关是带通滤波器可调的关键所在,a)共面波导信号线特征,若信号线没有被切断,则不能构成带通滤波器;b)共面波导信号线和地厚度特征,若信号线和地的厚度没有满足一定不同值,则中心频率的调节范围将很小;c)MEMS开关高度的连续变化使得带通滤波器连续可调。
申请公布号 CN101777677A 申请公布日期 2010.07.14
申请号 CN201010000943.6 申请日期 2010.01.21
申请人 北京邮电大学 发明人 邓中亮;张乃柏;黄建明;韩柯
分类号 H01P1/20(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I 主分类号 H01P1/20(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 基于MEMS(微电子机械系统)技术的可调带通滤波器结构,包括共面波导结构,MEMS开关,其特征在于共面波导信号线(1)的中间部位(3)被切断;在信号线部位(3)上方加载MEMS开关(9);MEMS开关高度(6)通过加载在信号线和地之间的直流电压不同来调节。
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