旋转引线键合头装置

摘要

本发明公开了一种由音圈电机驱动，适用于引线键合机使用的引线键合头装置。连架为矩形箱体结构，超声换能器固定于连架的最前端，电压信号发生器输出线接于超声换能器。音圈电机置于连架的尾端，音圈电机上的线圈动子相嵌于连架箱体上的电机线圈安装孔内。连架与支架通过旋转轴组成活动链接，支架左侧的后壁面装有光栅编码器和光栅尺。与传统键合头连接结构不同，本发明采用滚针轴承代替弹簧片结构，减小了旋转运动过程中的阻力。运动部件采用高强度硬铝和钛合金制成，提高了系统刚度，减轻了键合头质量。本发明还可用于与引线键合工艺相似的半导体加工制造设备和其他精密机电设备。

主权项

旋转引线键合头装置，具有超声换能器、电压信号发生器、连架、旋转轴、支架、光栅编码器、旋转音圈电机和滚针轴承，其特征是连架(1)为矩形箱体结构，超声换能器(2)固定于连架(1)箱体的最前端，电压信号发生器(3)输出线接于超声换能器(2)，音圈电机(4)置于连架(1)箱体的尾端，音圈电机(4)上的线圈动子(5)相嵌于连架(1)箱体上的电机线圈安装孔(6)内，连架(1)与支架(7)通过旋转轴(8)组成活动链接，支架(7)左侧的后壁面装有光栅编码器读数头(9)和光栅尺(10)。